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當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 共聚焦技術(shù)

Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 共聚焦技術(shù)

更新時(shí)間:2024-07-08點(diǎn)擊次數(shù):790

Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 共聚焦技術(shù)

共聚焦輪廓儀專為測量光滑表面到極粗糙表面而開發(fā)。共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率,可達(dá) 0.15μm 線條和空間,空間采樣可減少到 0.01μm,這是關(guān)鍵尺寸測量的理想選擇。

背景

Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 共聚焦技術(shù)

共聚焦技術(shù)能夠測量表面高度,將常規(guī)圖像轉(zhuǎn)換成光學(xué)剖面,其中,物鏡焦深范圍內(nèi)的那些區(qū)域的信號被保留,改善了圖像對比度、橫向分辨率和系統(tǒng)噪聲

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光學(xué)方案

對于 3D 成像,必須從相機(jī)的所有像素獲取數(shù)據(jù)。這意味著:重新構(gòu)建共聚焦圖像。為此,多狹縫圖像偏移一個(gè)像素,達(dá)到必要的次數(shù),以填充相機(jī)。多狹縫每偏移一次,拍一張相機(jī)圖像,對那一刻照亮的像素應(yīng)用共聚焦算法。

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SENSOFAR 技術(shù)

光學(xué)結(jié)構(gòu)中沒有運(yùn)動零件

       Sensofar 系統(tǒng)中實(shí)施的共聚焦掃描技術(shù)是微顯示器掃描共聚焦顯微鏡(根據(jù) ISO 25178 第 607 部分)。微顯示器創(chuàng)造了一個(gè)沒有運(yùn)動零件的快速切換裝置,使得數(shù)據(jù)采集快速、可靠和準(zhǔn)確。由于這一點(diǎn)和相關(guān)的算法,Sensofar 的共聚焦技術(shù)產(chǎn)生了優(yōu)異的垂直分辨率。

專屬算法

不要現(xiàn)在阻止我! 連續(xù)共聚焦

       共聚焦測量技術(shù)中革命性的一步,將采集時(shí)間穩(wěn)步減少 3 倍。連續(xù)共聚焦模式通過同時(shí)掃描面內(nèi)和 Z 軸,避免了經(jīng)典共聚焦的離散(耗時(shí))面與面采集。對于減少大面積掃描和大 Z 掃描的采集時(shí)間至關(guān)重要。

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主要特征

       共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率,可達(dá) 0.15μm 線條和空間,空間采樣可減少到 0.01μm,這是關(guān)鍵尺寸測量的理想選擇。高 HA (0.95) 和放大倍率 (150X) 的物鏡可用于測量局部斜率超過 70°的光滑表面。對于粗糙表面,最高可允許 86°。

       更佳的橫向分辨率: 300 nm(Rayleigh準(zhǔn)則)

       斜率高達(dá) 70o(光滑表面) 和 86o(粗糙表面)

       連續(xù)共聚焦:速度堪比AiFV

       高重復(fù)性,低至 1 nm 的系統(tǒng)噪聲

       從 1.5 μm 到數(shù)毫米的厚度測量

       更高程度的靈活性

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共聚焦系統(tǒng)




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