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光學(xué)顯微鏡應(yīng)用于電子半導(dǎo)體行業(yè)

更新時間:2024-12-18點擊次數(shù):663

什么是晶圓
半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱之為晶圓,在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的IC產(chǎn)品。

晶圓又叫wafer,由純硅(Si)構(gòu)成,晶片就是基于這個wafer上生產(chǎn)出來的。wafer上的一個小塊,就是晶片晶圓體,學(xué)名die,封裝后就成為一個顆粒。 

晶圓的尺寸

最初晶圓的尺寸為2英寸,之后發(fā)展到4/6/8/12英寸。

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PCB是電子工業(yè)的重要部件之一

當(dāng)前幾乎每種電子設(shè)備,小到計算器、電子手表,大到通訊電子設(shè)備、計算機、軍*武*系統(tǒng),只要有電子元器件,為了它們之間的電氣互連,都要使用印制板。

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PCB在線路板制程中的應(yīng)用

盲孔深度測量;通孔內(nèi)壁形貌觀察;孔心距;銀線及焊腳觀察;孔邊緣錫大小檢測;常規(guī)器件引線焊點的檢驗等。

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平板顯示器FPD:玻璃上電極透明的話,從玻璃一側(cè)看過去,被擠壓的粒子會發(fā)白,會比原尺寸變大。電極不透明的話,看粒子被擠壓后留在電極上的壓痕,壓痕重的壓合有效。

有塑封時可以撕開FPC,看殘留在銅箔或玻璃電極上的粒子,或者使用帶矯正環(huán)物鏡,進(jìn)行無損檢測。

徠卡光學(xué)顯微鏡應(yīng)用于電子半導(dǎo)體行業(yè):

1、Leica DVM6 :超景深顯微鏡下的不同世界,帶你領(lǐng)略鏡下之美

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產(chǎn)品特點:            

1) DVM6 超景深顯微鏡采用了1000萬物理像素攝像頭和APO復(fù)消色差物鏡,提供高質(zhì)量成像效果。

2) 16:1光學(xué)變倍,可快速切換低倍和高倍觀察。可選配三個物鏡,進(jìn)而實現(xiàn)從12X2350X的寬范圍觀察;

3)對所有重要參數(shù)實現(xiàn)編碼記錄, 還原之前拍攝效果;

4)不僅可對樣品進(jìn)行微觀觀察,還能進(jìn)行二維三維等精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)測量。


DVM6數(shù)碼顯微鏡可廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、紡織、材料科學(xué)、醫(yī)療、新能源、電子等諸多行業(yè)。

半導(dǎo)體行業(yè)

在半導(dǎo)體行業(yè),主要用于觀察芯片表面劃傷缺陷,同時可以測量凹槽深度。

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光伏板表面:觀察光伏板截面的涂層分布

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銀線表面:觀察銀線表面的缺陷劃痕

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導(dǎo)電粒子:觀察導(dǎo)電粒子的分布情況

 

電子行業(yè)

在電子行業(yè)中:可以觀察PCB版上的錫球焊接質(zhì)量,并且可以測量錫球的直徑和盲孔,同時也能觀察液晶屏的劃傷,劃痕。

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PCBA板:觀察PCBA板上的錫珠

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液晶屏film層劃痕:觀察液晶屏劃痕及測量劃痕深度

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芯片宏觀:宏觀觀察芯片表面結(jié)構(gòu)

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芯片微觀:觀察芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)

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印刷線路板金線:觀察印刷線路板金線走勢及有無斷裂殘缺導(dǎo)致不良的產(chǎn)生

2、Leica DM3XL、DM8000M、DM12000M 大平臺正置材料顯微鏡

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Leica DM3XL(看6寸晶圓)
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Leica DM8000M(看8寸晶圓)

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Leica DM12000M(看12寸晶圓)優(yōu)點:

     1)具備UV和OUV觀察方式,并可快速切換

     2)采用斜照明模式,可實現(xiàn)高反差觀察

     3)采用內(nèi)置式LED光源,色溫恒定在4000K

     4)采用復(fù)消色差光路設(shè)計,完善的色差校正

     5)選配電動掃描臺,可提高檢驗效率圖片

高分辨觀察方法 – 斜照明

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