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Sensofar共聚焦白光干涉儀 |白光干涉技術(shù)

更新時(shí)間:2024-11-26點(diǎn)擊次數(shù):560

干涉工作原理

干涉技術(shù)的工作原理是:將光分成光學(xué)傳播路徑不同的兩個(gè)光束,然后再合并,從而產(chǎn)生干涉。干涉物鏡允許顯微鏡作為干涉儀而工作;焦點(diǎn)對準(zhǔn)后,可在樣本上觀察到條紋。

                                                                                                   

 

光學(xué)方案

PSI 的光學(xué)方案與 FV 具有相同配置,但是現(xiàn)在采用干涉物鏡而不是明場。為了獲得形貌,沿著 Z 方向掃描傳感器頭。對于 PSI,掃描幾微米,并檢索相位。對于 CSI,掃描需要的微米數(shù),以掃描完整表面。

PSI :相移干涉

對于所有數(shù)值孔徑 (NA),開發(fā)了相移干涉法(PSI),以亞埃分辨率測量高度光滑和連續(xù)表面的高度??梢允褂脴O低的放大率 (2.5X) 測量具有相同高度分辨率的大視場。

 

EPSI:擴(kuò)展相移干涉技術(shù)

EPSI 結(jié)合了兩種干涉測量技術(shù),CSI(白光干涉) 和 PSI(相移干涉),在具備數(shù)百微米的高度掃描范圍的同時(shí),也能擁有0.1 nm的高度測量分辨率,從而克服這兩種測量方式本身的技術(shù)限制。

CSI:相干掃描干涉

相干掃描干涉法(CSI) 使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度,任何放大倍率下均達(dá)到 1 nm 的高度分辨率。

專屬算法

Sensofar共聚焦白光干涉儀采用干涉法,3D 測量能以高精度進(jìn)行??裳?Z 軸掃描,在整個(gè)樣本

主要特征

   Sensofar共聚焦白光干涉儀帶納米系統(tǒng)噪聲的大視場,無論 物鏡如何  

   PSI:0.01 nm 系統(tǒng) 噪聲 

   從 1.5 μm 至 100 μm的厚度測量

上獲得條紋,分別從 PSI 或 CSI 的干涉圖強(qiáng)度或相位獲取高度信息,用獲取的不同像素的高度重新構(gòu)建 3D 圖像。

干涉環(huán)

在森索法爾,我們一直致力于提高我們的干涉儀設(shè)備的性能。這就是為什么我們在我們的10XDI和20XDI鏡頭中增加了一個(gè)參考鏡調(diào)節(jié)環(huán)的原因。這個(gè)小巧但功能強(qiáng)大的增加件使我們能夠微調(diào)每個(gè)四個(gè)光源的參考鏡的位置,確保在全色譜范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的性能,并產(chǎn)生更準(zhǔn)確的干涉測量結(jié)果。


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