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白光干涉儀是如何通過干涉條紋得到表面輪廓的?

更新時(shí)間:2025-04-03點(diǎn)擊次數(shù):71
  在精密測(cè)量領(lǐng)域,白光干涉儀以其高精度和特殊的工作原理備受矚目。它能夠通過干涉條紋精確地獲取物體的表面輪廓,這一過程充滿了科學(xué)的奧秘。
  白光干涉儀主要基于光的干涉原理工作。當(dāng)一束白光照射到被測(cè)物體表面和參考鏡面后,這兩束光會(huì)在空間中相遇并發(fā)生疊加。由于從物體表面反射回來的光與從參考鏡反射回來的光在光程上存在差異,根據(jù)光的疊加原理,就會(huì)形成明暗相間的干涉條紋。
  這些干涉條紋蘊(yùn)含著關(guān)鍵的信息。在理想情況下,如果被測(cè)表面是全部平整的,干涉條紋會(huì)呈現(xiàn)出均勻、規(guī)則的形狀。然而,實(shí)際中物體表面不可避免地存在微觀起伏。當(dāng)表面不平整時(shí),不同位置的反射光與參考光的之間的光程差會(huì)發(fā)生變化,從而使得干涉條紋發(fā)生變形。
  通過捕捉這些變形的干涉條紋,白光干涉儀可以利用專門的圖像采集設(shè)備將其記錄下來。接著,借助先進(jìn)的計(jì)算機(jī)算法對(duì)采集到的條紋圖像進(jìn)行分析。算法會(huì)對(duì)條紋的形狀、間距、相位等參數(shù)進(jìn)行精確測(cè)量和計(jì)算。
  在眾多方法中,相位解包裹技術(shù)是一項(xiàng)關(guān)鍵手段。它能夠從測(cè)量得到的包裹相位信息中恢復(fù)出真實(shí)的相位分布,這個(gè)相位分布與物體表面各點(diǎn)的光程差直接相關(guān)。而光程差又與表面的高度變化存在對(duì)應(yīng)關(guān)系。通過特定的轉(zhuǎn)換公式和數(shù)學(xué)模型,就可以將相位信息轉(zhuǎn)化為物體表面的高度信息。
  最后,經(jīng)過一系列的數(shù)據(jù)處理和分析,這些高度信息被整合成一個(gè)完整的三維表面輪廓圖??蒲腥藛T和工程師們便可以通過這個(gè)輪廓圖,清晰、準(zhǔn)確地了解物體表面的微觀形貌特征,為科學(xué)研究、工業(yè)制造等領(lǐng)域提供了有力的支持。
  白光干涉儀細(xì)節(jié)圖展示

  總之,白光干涉儀通過對(duì)干涉條紋的巧妙分析和處理,成功地從光與光的相互作用中揭示了物體表面的微觀世界,為人類探索和利用微觀形貌開辟了新的道路。
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