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探微知著,Sensofar共聚焦白光干涉儀的原理與應(yīng)用

更新時(shí)間:2025-05-20點(diǎn)擊次數(shù):33
  在精密制造與微觀研究的領(lǐng)域中,精確測量物體表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌變化是至關(guān)重要的。Sensofar共聚焦白光干涉儀作為一種高科技的測量工具,憑借其高精度和高分辨率的特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)等領(lǐng)域,為我們揭示了微觀世界的奧秘。
  一、Sensofar共聚焦白光干涉儀的原理
  儀器采用了先進(jìn)的共聚焦技術(shù)和白光干涉技術(shù)。其工作原理是通過一個(gè)高亮度的光源發(fā)出白光,經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)后,形成平行光照射到樣品表面。樣品表面反射回來的光線再經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)聚焦到探測器上。在這個(gè)過程中,只有與焦點(diǎn)處樣品表面相對(duì)應(yīng)的反射光能夠聚焦到探測器上,形成清晰的干涉圖像。通過移動(dòng)Z軸,探測器可以記錄下一系列不同高度的干涉圖像。這些圖像經(jīng)過計(jì)算機(jī)處理,就可以精確地重建出樣品表面的三維形貌。
  二、使用方法及應(yīng)用
  使用儀器時(shí),首先需將被測樣品放置在測量平臺(tái)上,并通過調(diào)整樣品臺(tái)和光學(xué)系統(tǒng),使樣品表面位于光學(xué)系統(tǒng)的焦平面上。隨后,設(shè)置合適的掃描范圍、分辨率和光源強(qiáng)度等參數(shù),啟動(dòng)測量程序。在測量過程中,儀器會(huì)自動(dòng)采集并處理數(shù)據(jù),最終生成樣品表面的三維形貌圖像。
  該儀器廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域:在半導(dǎo)體行業(yè)中,可用于檢測芯片表面的光刻圖案和加工缺陷;在材料科學(xué)中,可用于分析材料的表面形貌和粗糙度;在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,可用于觀察細(xì)胞和組織的微觀結(jié)構(gòu)。此外,在光學(xué)元件制造、精密機(jī)械加工等行業(yè)中,它也發(fā)揮著重要作用。
  三、Sensofar共聚焦白光干涉儀外觀示意圖

  總之,Sensofar共聚焦白光干涉儀以其高精度和高分辨率的特性,為科研和工業(yè)領(lǐng)域提供了強(qiáng)大的技術(shù)支持,成為探索微觀世界的得力助手。
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