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超低震動干式液氦光學(xué)液氦低溫恒溫器，使用氣體導(dǎo)熱隔震，實現(xiàn)樣品臺納米級的機械穩(wěn)定性。為有效降低環(huán)境震動影響，產(chǎn)品設(shè)計安裝在光學(xué)隔震平臺上。

室溫自動探針臺 TZ-H-06高可靠性探針臺系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子， 電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

手動探針臺系統(tǒng)可定制手動探針臺 系統(tǒng)，整套系統(tǒng)包配置有探針臺主體、顯微鏡、針座、探針線纜、探針等。

SEM納米探針臺產(chǎn)品實現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。

ZP3-4 微納探針臺探針數(shù)量：4個探頭，每個探頭配備一個三軸探針臂;自由度：每個探頭獨立驅(qū)動（X、Y、Z三自由度）。

國產(chǎn)全自動臺階儀 JS1000A，擁有高精度、高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。