集 3 種聚焦離子束于一身的蔡司離子束顯微鏡ORION NanoFab，可以實(shí)現(xiàn)亞 10 nm 結(jié)構(gòu)的超高精度加工

快速、精準(zhǔn)的亞 10 納米結(jié)構(gòu)加工。借助 ORION NanoFab 顯微鏡可在鎵、氖及氦離子束之間實(shí)現(xiàn)無縫切換：

• 氖離子束可以快速高效地進(jìn)行納米結(jié)構(gòu)加工。

• 氦離子束可以加工亞 10nm 級(jí)精度的結(jié)構(gòu)。

• 備選的鎵聚焦離子束能夠進(jìn)行大塊樣品材料的刻蝕。

ORION NanoFab 集鎵、氖、氦三種離子束于一身，是能實(shí)現(xiàn)從微米到納米微加工的成像加工系統(tǒng)。

（一）、蔡司離子束顯微鏡ORION NanoFab特點(diǎn)

1. 快速亞 10 nm 結(jié)構(gòu)加工
使用氖和氦離子束加工有超高精度要求的精細(xì)亞 10 納米結(jié)構(gòu)。無論是使用濺射、氣體輔助切割、氣體輔助沉積或是光刻技術(shù)刻蝕材料，在亞 10nm 加工應(yīng)用中 ORION NanoFab 均表現(xiàn)不凡。

2. 集三種離子束顯微技術(shù)于一體
使用鎵聚焦離子束刻蝕大塊材料。利用精準(zhǔn)的氖離子束快速完成微加工，利用氦離子束加工精細(xì)的亞 10 納米級(jí)結(jié)構(gòu)。利用氦和氖離子還可以防止傳統(tǒng) FIB 鎵粒子注入引起的基體材料性質(zhì)變化。

3. 高分辨率成像
借助 0.5 納米成像分辨率，它可在同一臺(tái)加工儀器中實(shí)現(xiàn)樣品的高分辨率成像。與使用場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）成像相比，其可獲得 5 至 10 倍的景深并和更豐富的圖像細(xì)節(jié)。

（二）、納米加工

Orion NanoFab 擁有納米加工和成像引擎 - 配有集成軟、硬件的控制系統(tǒng)。納米圖形發(fā)生器（NPVE）為每個(gè) NanoFab 鏡筒提供了一臺(tái) 16 位掃描圖形發(fā)生器，以及支持實(shí)時(shí)圖案加工和成像的雙信號(hào)采集硬件。通過圖形化用戶界面（GUI）控制離子束：可創(chuàng)建一系列可編輯的形狀，如矩形、梯形、多邊線、直線、折線、橢圓及點(diǎn)。然后，對(duì)這些形狀進(jìn)行矢量切割，并通過劑量和加工參數(shù)的調(diào)節(jié)進(jìn)行的過程控制。