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當前位置:首頁產品中心冷熱臺美國INSTEC冷熱臺HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺

HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺

產品簡介

HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺系列是可從外部移動 探針進行點針的桌上型探針臺,涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、 探針電測試、光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個 可抽真空的密封腔,亦可內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結 霜,或高溫下氧化。

產品型號:
更新時間:2025-05-12
廠商性質:代理商
訪問量:146
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產品簡介

HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺系列是可從外部移動 探針進行點針的桌上型探針臺,涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、 探針電測試、光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個 可抽真空的密封腔,亦可內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結 霜,或高溫下氧化。


功能特點
mimi 型溫控探針臺,可集成到各種光學設備
可編程控溫,涵蓋-190℃~400℃
適用 10 mm ~26 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體,亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針,可從設備外部移動探針進行點針,
模塊化設計,可自由組合
*可升級為 8 個獨立探針
可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件 SDK
SMA 接頭轉 BNC 四探針,手動點針
*可選三同軸接口,用于 pA 級測試
*可做定制或改動,詳詢上海恒商

溫控參數(shù)

溫度范圍  -190℃~400℃(負溫需配液氮制冷)
加熱塊材質  銀
傳感器/溫控方式  最大升溫速率
100Ω鉑 RTD / PID 控制(含 LVDC 降噪電源)
30℃/min
最小溫控速度  ±0.01℃/min
溫度分辨率  0.01℃ RTD 傳感器
溫度穩(wěn)定性  ±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃)
軟件功能  可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線
光學參數(shù)
適用光路  反射光路
窗片  可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離  8/12 mm (可選) *截面圖中 WD
上蓋窗片觀察 窗片范圍φ45mm,最大視角±50° *截面圖中θ 1
負溫下窗片除霜 吹氣除霜管路


結構參數(shù)

適用樣品  26 mm 直徑 (標準)
樣品腔高  4/8 mm (可選)
探針座  可從外部 XYZ 移動的探針臂 粗調模式+微調模式,XY 粗調 20mm XY 微調行程 10mm,Z 微調 3mm
調節(jié)精度  10um
氣氛控制  真空腔,也可充入保護氣體
外殼冷卻  可通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量  300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg


配置列表
基本配置  真空型臺式探針臺、mK2000B 溫控器
可選配件  安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、 防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸 BNC、臺面電懸空、 樣品接電引線


以上是HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺的詳細介紹


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