HCP421V-MPS 溫控探針臺真空腔冷熱臺

產品簡介

HCP421V-MPS 溫控探針臺真空腔冷熱臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。

產品型號：

更新時間：2025-05-12

廠商性質：代理商

訪問量：146

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HCP421V-MPS 溫控探針臺真空腔冷熱臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。

功能特點

mimi 型溫控探針臺，可集成到各種光學設備

可編程控溫，涵蓋-190℃~400℃

適用 10 mm ~26 mm 晶圓和器件

可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用

獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針,

模塊化設計，可自由組合

*可升級為 8 個獨立探針

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件 SDK

SMA 接頭轉 BNC 四探針，手動點針

*可選三同軸接口，用于 pA 級測試

*可做定制或改動，詳詢上海恒商

溫控參數(shù)

溫度范圍 -190℃~400℃（負溫需配液氮制冷）

加熱塊材質銀

傳感器/溫控方式最大升溫速率

100Ω鉑 RTD / PID 控制（含 LVDC 降噪電源）

30℃/min

最小溫控速度 ±0.01℃/min

溫度分辨率 0.01℃ RTD 傳感器

溫度穩(wěn)定性 ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線

光學參數(shù)

適用光路反射光路

窗片可拆卸與更替的窗片

最小物鏡工作距離 8/12 mm （可選） *截面圖中 WD

上蓋窗片觀察窗片范圍φ45mm，最大視角±50° *截面圖中θ 1

負溫下窗片除霜吹氣除霜管路

結構參數(shù)

適用樣品 26 mm 直徑（標準）

樣品腔高 4/8 mm （可選）

探針座可從外部 XYZ 移動的探針臂粗調模式+微調模式，XY 粗調 20mm XY 微調行程 10mm,Z 微調 3mm

調節(jié)精度 10um

氣氛控制真空腔，也可充入保護氣體

外殼冷卻可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg

配置列表

基本配置真空型臺式探針臺、mK2000B 溫控器

可選配件安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸 BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

以上是HCP421V-MPS 溫控探針臺真空腔冷熱臺的詳細介紹

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