雙模合一SensofarS lynx2的技術(shù)特點(diǎn)

Sensofar S lynx2的核心優(yōu)勢(shì)在于其將共聚焦成像和白光干涉測(cè)量技術(shù)集成于一臺(tái)設(shè)備之中。這種“雙引擎"設(shè)計(jì)理念，使其在面對(duì)多樣化的樣品時(shí)，能展現(xiàn)出良好的適應(yīng)性，為用戶(hù)提供了更寬廣的測(cè)量范圍。

共聚焦技術(shù)利用空間針孔來(lái)排除焦點(diǎn)以外的雜散光，從而能夠獲取樣品表面不同高度的光學(xué)切片。通過(guò)垂直掃描并重建這些切片，可以得到高對(duì)比度的三維表面形貌。這一技術(shù)對(duì)光線的利用效率較高，即使對(duì)于吸光材料或暗色樣品，也能獲得可信的測(cè)量數(shù)據(jù)。它尤其擅長(zhǎng)處理陡峭側(cè)壁和粗糙表面。

白光干涉技術(shù)，又稱(chēng)垂直掃描干涉術(shù)，利用白光短相干性的特性，通過(guò)尋找干涉條紋的對(duì)比度最大值來(lái)精確定位表面高度。這種技術(shù)對(duì)于光滑表面的微小起伏和納米級(jí)的臺(tái)階高度測(cè)量，能表現(xiàn)出良好的性能。

S lynx2的智能之處在于，其軟件系統(tǒng)能夠根據(jù)用戶(hù)選擇的物鏡和設(shè)置的測(cè)量參數(shù)，自動(dòng)推薦或切換到合適的測(cè)量模式。例如，使用低倍物鏡觀察一個(gè)粗糙的噴砂表面時(shí)，系統(tǒng)會(huì)建議采用共聚焦模式；而換用高倍物鏡測(cè)量一個(gè)光滑的硅片臺(tái)階時(shí)，系統(tǒng)則會(huì)推薦白光干涉模式。這種自動(dòng)化流程降低了對(duì)操作人員的技術(shù)要求，減少了因模式選擇不當(dāng)而導(dǎo)致的測(cè)量誤差。

從用材上看，確保光學(xué)性能穩(wěn)定是基礎(chǔ)。S lynx2的光路系統(tǒng)采用了鍍膜光學(xué)玻璃透鏡，以減少像差和色差，保證成像質(zhì)量。掃描系統(tǒng)采用閉環(huán)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，其重復(fù)定位性能有助于提升垂直方向的測(cè)量準(zhǔn)確性。

這種技術(shù)上的融合，使得S lynx2成為了一臺(tái)“多面手"設(shè)備。它既不像單一共聚焦設(shè)備那樣在納米尺度上可能受限，也不像單一干涉儀那樣在面對(duì)粗糙表面時(shí)無(wú)能為力。對(duì)于預(yù)算有限但又需要應(yīng)對(duì)多種測(cè)量挑戰(zhàn)的用戶(hù)來(lái)說(shuō)，S lynx2提供了一個(gè)折中的解決方案。

雙模合一SensofarS lynx2的技術(shù)特點(diǎn)